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安全完整性等级 SILX – Safety Integrity Level对应安全完整性量值的范围，四个等级—SIL1、SIL2、SIL3、SIL4，SIL4等级最高。

诊断覆盖率DC—Diagnostic Coverage通过自动在线诊断测试检测到的危险失效分数，由检测到的危险失效率除以总危险实现率计算出来的（已经检测到的失效率占总失效率的比值）。

表决通道组在要求时的平均失效概率PFD—Probability of dangerous Failure on Demand 指的是在低要求模式下，安全仪表系统在EUC或EUC相关系统发出要求时执行规定安全功能的平均不可用性。

表决通道组的平均失效频率PFH— Average frequency of dangerous failure 指的是在高要求模式或者连续模式下，安全仪表系统在一个给定的时间周期内执行规定安全功能时的危险失效平均频率。

安全失效分数SFF—safe failure fraction平均安全失效率加上检测出的平均危险失效率，与平均危险失效之比。

硬件故障裕度HFT – Hardware Fault Tolerance  表示系统的容错能力。

失效模式与影响分析FMEA—failure Mode and Effects Analysis 针对产品所有可能的故障，并根据对故障模式的分析，确定每种故障模式对产品工作的影响，找出单点故障，并按故障模式的严重度及其发生概率确定其危害性。

失效模式与诊断分析FMEDA—Failure Modes Effects and Diagnostic Analysis 它对功能安全产品的失效风险，是否可诊断进行定性分析，同时也为平均失效概率和安全完整性等级的计算提供了有效的数据支撑。